極限壓力 　 　　Pa

≤5×10^-5

  抽氣速率 　   　L/s

≥11000

≥35000

  臨界前級壓力　　Pa

≥60

  返油率

1.5×10^-3

  加熱功率  　　　kW

12

24

  電源電壓  　　　V　

380

  冷卻水用量　　　L/h

860

1330

  泵油牌號

KS-3或275#硅油

  泵油用量　　　　L

5～6

11～12

  推薦前級泵抽速　L/s

140

300

  外形尺寸 （L×W×H）

1100×700×1240

1760×1100×1855

  重量 　　 　　kg

260

910