極限壓力 　 　　Pa

≤6.7×10^-5

  抽氣速率 　   　L/s

≥5500（1.3×10^-3～6.7×10^-2Pa）

≥2500（1.3×10^-1Pa）

≥16500（1.3×10^-3～6.7×10^-2Pa）

≥2500（1.3×10^-1Pa）

  臨界前級壓力　　Pa

≥50

  加熱功率  　　　kW

5.1

15

  電源電壓  　　　V　

220

380

  冷卻水用量　　　L/h

400

900

  泵油用量　　　　L   （KS-3或275#硅油）

2

16

  推薦前級泵抽速　L/s

70

150

  油位觀察窗

—

—

  泵芯級數

5級

5級

  外形尺寸 （L×W×H）

550×570×825

1200×780×1500

  重量（凈重） 　　kg

～150

～390