極限壓力 　 　　Pa

≤7×10^-2

  抽氣速率 　   　L/s

≥450

≥2000

≥4000

≥8000

≥13000

≥23000

  臨界前級壓力　　Pa

≥140

  加熱功率  　　　kW

1.8

6.6

14～15

20

30

60

  電源電壓  　　　V　

220

380

  冷卻水用量　　　L/h

250

360

800

1300

1500

5000

  泵油用量　　　　L

2.8

8.5

33.5

75

105

160

  進氣口徑

150

300

400

600

800

1000

  排氣口徑

40

65

100

150

200

300

  推薦前級泵抽速　L/s

30

70

150

150

450

1200

  外形尺寸 （L×W×H）

350×320×780

620×620×1390

770×678×1670

1180×990×2390

1480×1230×3020

1790×1550×3720

  重量（凈重） 　　kg

50

240

600

1360

2010

3810